近日,浙江晟霖益嘉科技有限公司宣布了一项振奋人心的重大里程碑:公司自主研发的半导体12英寸磁控溅射PVD(物理气相沉积)设备在经历为期6个月的严格厂内测试调试后,正式进入客户端产线进行更加全面的测试与验证。这一关键步骤的启动,标志着公司在半导体高端设备国产化进程中迈出了坚实一步,对推动我国集成电路产业链自主可控具有重要意义。

当前,人工智能浪潮席卷全球,算力竞争日益激烈。当人们将目光聚焦于算法与芯片时,浙江晟霖益嘉科技有限公司,正以自主研发的泛半导体真空薄膜沉积高端装备,默默筑牢AI产业的物理基座,并为国家能源安全与芯片安全提供关键装备支撑。
关键设备推进国产替代
填补高端领域空白
作为晶圆制造三大核心工艺装备之一,薄膜沉积设备与光刻、刻蚀设备共同构成了芯片制造的关键环节,直接决定了芯片的结构精度和电学性能。PVD设备通过磁控溅射等物理方式在晶圆表面沉积金属及其化合物薄膜,广泛应用于前道和后道制程中的阻挡层、种子层等关键工艺。目前,PVD设备国产化率仅在15%-20%左右。
在此背景下,浙江晟霖益嘉自主研发的半导体12英寸磁控溅射PVD设备的产线测试启动,无疑为国产高端装备注入了强劲信心。据公司相关负责人介绍,此次投入测试的半导体12英寸磁控溅射PVD设备,是公司在行业领域长期深耕的重要成果之一。在过去6个月中,技术团队攻坚克难,持续优化核心工艺模块,完成了设备在厂内的全面调试与性能验证,确保各项关键指标稳步提升。
如今,该设备正式进入客户产线进行真实生产环境下的测试和验证,标志着该项目由技术研发和内部调试阶段,正式迈入产线验证和量产导入的关键环节。设备在产线上的表现将直接反映其在产能、稳定性、重复精度等方面的综合性能,为后续批量推向市场奠定坚实基础。
从0到1
定义泛半导体装备“拱墅力量”
在拱墅崛起,作为典型的“拱墅生、拱墅长”的技术驱动型制造企业,浙江晟霖益嘉自成立以来,始终聚焦泛半导体真空薄膜沉积高端装备的研发与制造,清晰定位于AI算力底座的装备制造者、国家能源安全与芯片安全的硬核支撑者。
凭借过硬的科创实力,公司先后获评国家高新技术企业、浙江省专精特新中小企业、科技新小龙及浙江省种子独角兽等荣誉,累计申请专利90余件,研发人员占比高、研发投入持续加码。公司核心产品荣获市首台(套)重大技术装备认证,并在国家工信部举办的科创比赛中斩获佳绩。资本层面,公司已完成Pre-A轮及A轮合计数亿元融资,赢得地方国资、浙大系及产业资本的高度认可。

在能源安全领域,公司成功推出国内首台1.2米×2.4米量产型大宽幅真空蒸镀设备,并已成功交付行业头部客户。该设备是下一代光伏技术——钙钛矿电池实现GW级量产的核心装备,通过自主研发掌握多项核心技术及发明专利,为国内钙钛矿光伏产业链提供了完全自主的设备端保障,有力支撑国家能源结构转型与安全。
在芯片安全领域,公司聚焦半导体12英寸磁控溅射PVD设备——芯片制造前道三大核心设备之一,目前国产化率不足15%。浙江晟霖益嘉自主研发的设备独创多功能腔室设计,具有高产能、低占地面积、智能人机交互界面、高靶材利用率、高薄膜均匀性以及高稳定性等优点。该设备是AI芯片、算力芯片及先进封测的必要装备,将直接筑牢人工智能产业的硬件底座,保障国家芯片供应链自主可控。
AI赋能与产业协同
打造拱墅融合标杆
“AI再强,离不开底层芯片;芯片再好,离不开高端装备。”面对外界关于装备制造与AI关系的疑问,浙江晟霖益嘉给出了清晰的回答。公司正按计划逐步融入AI赋能,利用AI算法优化工艺研发数据模型,加速新材料、新工艺验证,以数字化、智能化提升研发效率。
立足拱墅,企业积极倡导与区内人工智能、集成电路企业深度协同,提供设备配套、工艺验证及联合攻关,共同构建“装备+芯片+AI应用”的产业链闭环,推动钙钛矿绿色能源与数据中心低碳化协同落地,致力打造拱墅“先进制造+人工智能”融合发展标杆。
面向未来,浙江晟霖益嘉目标明确:短期,让钙钛矿蒸镀设备持续领跑行业;中期,实现半导体12英寸PVD设备批量交付,突破“卡脖子”环节;长期,坚持“双轮驱动”战略,成为全球泛半导体薄膜设备领域的变革者与引领者。

“从人才服务到供应链对接,拱墅不仅给了我们企业政策的支持,更给了我们发展的信心。”浙江晟霖益嘉公司相关负责人表示,企业也将持续扎根拱墅、反哺属地,继续加大研发投入、扩大产值规模、带动产业链协同发展、吸纳高端人才,以实际行动回报各级领导和社会各界的信任与支持,为拱墅区高质量发展、为人工智能与先进制造深度融合贡献全部力量。
从一间实验室到国内首台套量产装备,从拱墅区的一家初创企业到国家能源与芯片安全的硬核支撑者,浙江晟霖益嘉正以硬核装备书写着高质量发展的生动答卷。在拱墅这片创新热土上,“智赋芯基·制造领航”的故事,才刚刚开始。